晶圓加熱盤,晶圓加熱模組（定制）在半導(dǎo)體制程過程中非常重要，特別是在一些關(guān)鍵工藝中，如晶圓退火、鍵合、勻膠、刻蝕、氣相沉積等，它可以提供穩(wěn)定的溫場環(huán)境及精密的盤面均勻溫度，確保晶圓在各種溫區(qū)中的加熱要求，從而實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件的制造和研發(fā)。

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更新時間：2025-09-19
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與溫控技術(shù)、原位力學(xué)技術(shù)等相關(guān)的產(chǎn)品，如于晶圓加熱系統(tǒng)、快速退火爐、高低溫試驗(yàn)箱等，可為客戶提供個性化定制。

果果儀器晶圓加熱模組在半導(dǎo)體制程過程中非常重要，特別是在一些關(guān)鍵工藝中，如晶圓退火、鍵合、勻膠、刻蝕、氣相沉積等，它可以提供穩(wěn)定的溫場環(huán)境及精密的盤面均勻溫度，確保晶圓在各種溫區(qū)中的加熱要求，從而實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件的制造和研發(fā)。

晶圓加熱模組（定制）特點(diǎn)：

• 溫度范圍：RT~600℃

• 溫度穩(wěn)定性：±0.1℃

• 材質(zhì)：鋁合金、不銹鋼、因瓦合金等

• 高精度控溫

• 專業(yè)溫控軟件

• 支持定制

參數(shù)：

型號	晶圓加熱模組（定制）
尺寸	2 / 4 / 6 / 8 / 10 / 12 英寸
溫度范圍	RT~600℃
溫度穩(wěn)定性	±0.1℃
材質(zhì)	鋁合金、不銹鋼、因瓦合金等
平面度	≤10um，可達(dá)到3um，和材質(zhì)相關(guān)
適用環(huán)境	氣氛/真空
冷卻系統(tǒng)	選配：水冷、氣冷等
鍵合壓力	選配：0~100kN

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